儀器特點:
1、X、Y、Z三軸全自動測量儀
2、高清130萬數字相機。
3、Z軸軟件自動精準聚焦。該測量軟件高度集成, 能提高檢測效率及精度。
4、主要應用檢測半導體芯片的共面度、平面度、平整度。
5、儀器又稱激光平面度測量儀
主要參數:
型號 | AG300CNC |
行程(mm) | 300×200×200 |
外形尺寸(mm) | 1450X1050X1650 |
重量(kg) | 450 |
承重(kg) | 20 |
X 、Y軸測量精度(μm) | 1.5+L/250 |
Z軸測量精度(μm) | 2+L/200 |
重復精度(μm) | 2 |
X、Y軸運動速度 | 0-100mm/S(任意選擇) |
Z軸運動速度 | 0-20m/S(任意選擇) |
操作方式 | 搖桿+軟件 |
光柵尺 | 0.0001mm分辨率RENISHAW金屬光柵尺 |
導軌 | 中國臺灣“上銀" 精密級直線導軌 |
絲桿 | 中國臺灣“TBI"細牙研磨滾珠絲桿 |
軸承 | 日本原裝“NSK" 雙例組合向心球軸承 |
電機 | 日本“松下"交流伺服電機,定位精度≤0.001mm |
光電限位開關 | 日本原裝“歐姆龍"光電限位開關 |
圖像傳感器CCD | 高清數字130萬像素彩色CCD |
光源 | 輪廓光 | 輪廓光 LED冷光源,透射光加裝聚光鏡片實現平行光照射 |
表面光 | 4環(huán)8分區(qū)LED冷光源,軟件操控,減少電氣元件損壞。 |
光學鏡頭 | 0.7-4.5X同軸光自動變倍鏡頭 |
金相物鏡 | 10X/0.28(35mm長工作距離) |
放大倍率 | 光學放大倍率:7~45X;影像放大倍率:240~1100X |
軟件 | SBK-CNC專用全自動標準版測量軟件 |
電源 | 220V/50Hz/3A |
工作環(huán)境 | 溫度25℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80% |
影像儀專用桌 | 內置開關電源、控制器、電機驅動器、電源控制開關、指示燈、急停開關、移動滾輪 |
保修期 | 12個月 |
Z軸自動聚焦、對焦重復性可達<0.0002mm
適用于半導體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板、(LCM)晶片級CSP等領域
可選配激光測量平面度及深度。